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愛發(fā)科VSN1501真空泵維修

簡要描述:

愛發(fā)科VSN1501真空泵維修:低噪音、低振動、*的耐腐蝕性。標準零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對府蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

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更新時間:2025-01-14

產(chǎn)品產(chǎn)地:日本

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愛發(fā)科VSN1501真空泵維修
品牌ULVAC/日本愛發(fā)科輸送介質(zhì)其他
泵軸位置邊立式葉輪數(shù)目多級

愛發(fā)科VSN1501真空泵維修

愛發(fā)科真空泵一般用于排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等),排出非活性氣體行業(yè)對泵的腐蝕性很大,大多數(shù)真空泵都是因為腐蝕后轉(zhuǎn)數(shù)慢,影響到生產(chǎn)效率,需要專業(yè)的廠家維修,東莞比其爾真空承接愛發(fā)科干式螺桿真空泵維修。

針對真空泵腐蝕的修復(fù)方法:

*清除表面氧化層,用丙酮將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護,專業(yè)的安裝方式完工。

愛發(fā)科NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化,除PVD工藝外,龍其適用于希望提高流量,縮短非氣時間的重要工藝腔體的排氣。

愛發(fā)科真空泵NRL180A特點:

低噪音、低振動、*的耐腐蝕性。

標準零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對府蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

隨泵配送選購件:

可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮氣流量開關(guān)、泵溫傳感器。

適用于行業(yè):

活性氣體(CVD/刻蝕等)

排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)

用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單品爐等)

可用前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)

冷凍干燥等水蒸氣排氣。

真空泵維修流程安排:

一、初步了解真空泵現(xiàn)狀

服務(wù):如有需要,會在24小時內(nèi)派出專業(yè)技術(shù)人員趕赴現(xiàn)場確認真空泵故障。

二、確定真空泵故障原因

服務(wù):真空泵確認了解故障原因后,擬定出具體維修方案與周期、甲乙雙方簽定協(xié)議后,珠三角地區(qū)甲方安排人員上門提泵,其他區(qū)域客戶可以選擇物理快遞。

三、真空泵拆開報價

服務(wù):為了讓客戶更清晰的知道維修費用,比其爾會給出詳細的維修清單及費用明細。

四、確認真空泵維修

服務(wù):客戶同意維修費用后開始維修,維修后所換配件全部還客戶。

五、真空泵維修完畢后試機,一般測試時間是24小時。

服務(wù):確保維修過后達到的真空度和穩(wěn)定性能,真空度達到出廠標準。

六、配送真空泵上門安裝調(diào)試。

服務(wù):在試機OK后24小時內(nèi),客戶可當初驗收真空泵,看試機運轉(zhuǎn)效果。

七、統(tǒng)一質(zhì)保修六個月,定期回訪、并提供免費技術(shù)支持。

服務(wù):東莞比其爾維修過的每臺真空泵都會記入檔案,我們會定期根據(jù)后期使用情況做出回訪工作。

愛發(fā)科VSN1501真空泵維修

 

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